Avantgarde提供各种类型的样品座可选。

1、接地样品座：样品座表面接地，无氧铜镀金。                                                      2、绝缘样品座：表面绝缘，样品放置在样品座上时不会和地导通。

3、温差热学样品座：样品座实现分区设计，两区可实现30k温差，样品座表面接地。         4、同轴样品座：样品表面电学绝缘，底部可加偏压，底部有一个BNC接头

5、三同轴样品座：样品表面电绝缘，在样品表面和接地之间有一个电绝缘的Guard保护层，底部有一个Guard保护和一个三同轴接头。

6、旋转样品座

样品座型号及参数：

• 集成电路
• 芯片
• 晶圆片