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涡旋式干泵

涡旋式干泵

产品简介

涡旋泵通过简单的双涡旋盘式结构产生真空,即一个嵌套涡旋盘围绕另一个旋转,产生捕集气体运动的空间。气体从周边进入涡旋泵,并被转移和压缩至中央,然后在中央处排放。快速可预测的维护过程大大缩短了服务停机时间,降低了维护成本。在需要无油泵的情况下,涡旋泵是旋片泵的理想替代。 安捷伦 IDP 密封涡旋式干泵具有完全隔开的轴承,可提供静音、洁净、无油的真空。它们非常适用于分析仪器、低温应用、氦气再循环、冷冻干燥和大麻提取,也可作为涡轮分子泵的前级泵。 Agilent TriScroll 泵是一款可靠耐用的涡旋泵,可提供高抽速和极限真空度,可选配变频器或三相电机。TriScroll 泵可用于泄漏检测、制造过程和其他工业应用。

产品概述

涡旋泵:洁净、高性能的无油真空泵
涡旋泵通过简单的双涡旋盘式结构产生真空,即一个嵌套涡旋盘围绕另一个旋转,产生捕集气体运动的空间。气体从周边进入涡旋泵,并被转移和压缩至中央,然后在中央处排放。快速可预测的维护过程大大缩短了服务停机时间,降低了维护成本。在需要无油泵的情况下,涡旋泵是旋片泵的理想替代。
安捷伦 IDP 密封涡旋式干泵具有完全隔开的轴承,可提供静音、洁净、无油的真空。它们非常适用于分析仪器、低温应用、氦气再循环、冷冻干燥和大麻提取,也可作为涡轮分子泵的前级泵。
Agilent TriScroll 泵是一款可靠耐用的涡旋泵,可提供高抽速和极限真空度,可选配变频器或三相电机。TriScroll 泵可用于泄漏检测、制造过程和其他工业应用。

IDP-3 涡旋式干泵
Agilent IDP-3 涡旋式干泵是一款创新、紧凑、高性能的无油真空泵,适用于研究、分析仪器和实验室市场中的多种应用。这款泵是用于常规真空应用的小涡旋式干泵,可轻松集成到 OEM 系统中。
Agilent IDP 泵采用密封设计,电机和所有轴承均与真空环路完全隔离。这种设计能够延长轴承使用寿命,提供清洁的无油真空。IDP 泵采用单面涡轮设计,可通过简单的工具在 15 分钟内完成维护操作。

特征
-轻便小巧的 IDP 涡旋式干泵
-洁净、无油的真空环路 — 无需繁琐的维护,不存在污染风险
-密封设计,与电机和轴承完全隔离
-静音运行,提高工作场所舒适性
-低振动
-优于隔膜泵的极限真空度
-24 VDC 电机选件可控制抽速使用寿命长,维护快速
-所有 IDP-3 泵标配计时器
-非常适用于 GC/MS 应用
-体积小巧,非常适合集成到分析仪器、检漏和氦气再循环的 OEM 系统中

TriScroll 600 变频泵
Agilent TriScroll 600 变频泵是一款涡旋式干泵,抽速为 30 m3/h (500 L/min)。这款泵将变频技术的优点与 Agilent TriScroll 真空泵的良好性能结合。
TriScroll 600 采用变频技术,在全球所有频率和输入电压下均能提供稳定如一的真空性能TriScroll 600 变频泵避免了油封旋片泵需要经常维护的麻烦,很容易达到法规和环保方面的要求,并节省了处置废油的成本。

特征
-高抽速(30 m3/h,500 L/min)和低极限压力可提供洁净的无油真空
-各种电源频率下,抽速均保持不变
-通过 RS-232 或 0-10 V 控制信号调节泵的转速,可以选择优抽速
-泵参数可通过串行接口监测
-标准 D-Sub 连接器可提供触点闭合进行远程启停
-通过选择佳转速可降低工作区域的噪音和振动水平,几乎不会降极限真空度
-使用 Agilent A-PLUS 软件

技术参数

IDP-3 涡旋式干泵规格

噪音水平
55 dB(A)
宽度
5.5 in
尺寸(宽 x  x 长)
5.5 in x 7.13 in x 14.09 in
抽速 (50 Hz)

3 m3/h

50 L/min

1.8 CFM
抽速 (60 Hz)

3.6 m3/h

60 L/min

2.1 CFM
排气口连接
¼ inch female NPT (10 mm hose barb provided)
操作环境温度

5 °C  40 °C

41 °F 至 104 °F
大进气口压力
1.0 atm (0 psig)
极限压力 (50 Hz) — Torr  mbar

3.3 x 10–1 mbar

2.5 x 10–1 Torr
极限压力 (60 Hz) — Torr  mbar

3.3 x 10–1 mbar

2.5 x 10–1 Torr
运输重量

10.5 kg

23 lbs
进样口连接
NW16
重量(只有泵时)

9.5 kg

21 lbs
长度
14.09 in
高度
7.13 in

TriScroll 600 变频泵

噪音水平
55–68 dB(A)
宽度
10.8 in
尺寸(宽 x  x 长)
10.8 in x 14 in x 18.35 in
抽速 (50 Hz)

全速下为 30 m3/h

全速下为 500 L/min

全速下为 17.7 CFM
抽速 (60 Hz)

全速下为 30 m3/h

500 L/min

全速下为 17.7 CFM
排气口连接
NW25
操作环境温度

5 °C  40 °C

41 °F 至 104 °F
大进气口压力
1.0 atm (0 psig)
极限压力 (50 Hz) — Torr  mbar

9.3 x 10–3 mbar

7 x 10–3 Torr
极限压力 (60 Hz) — Torr  mbar

9.3 x 10–3 mbar

7 x 10–3 Torr
输入电压
200–240 V,50/60 Hz
运输重量

39 kg

85 lbs
进样口连接
NW40
重量(只有泵时)

31 kg

68 lbs
长度
18.35 in
高度
14 in

应用领域

  • 集成电路
  • 芯片
  • 晶圆片

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