CN/ EN

PRODUCT CENTER

产品中心

真空控制器和规管

真空控制器和规管

产品简介

“可靠、准确、高效”,安捷伦真空规管和真空计控制器可在广泛领域内完成对真空系统的测量和控制。 安捷伦真空测量技术,为复杂的工业应用环境而生。简约的设计、简便的操作,将保证您真空系统或真空工艺的省时、高效。 逾 50 年的科研领域经验中,我们的仪器超级准确、稳定的特性,完全符合科研院所的要求。同时,通过STARRS Calibration 和支持系统,安捷伦为您提供准确测量。

产品概述

科研及工业应用中的真空测量
“可靠、准确、高效”,安捷伦真空规管和真空计控制器可在广泛领域内完成对真空系统的测量和控制。安捷伦真空测量技术,为复杂的工业应用环境而生。简约的设计、简便的操作,将保证您真空系统或真空工艺的省时、高效。逾 50 年的科研领域经验中,我们的仪器超级准确、稳定的特性,完全符合科研院所的要求。同时,通过STARRS Calibration 和支持系统,安捷伦为您提供准确测量。

XGS-600 真空计控制器
XGS-600 真空计控制器可以同时或独立操作多达 12 个真空计并显示多达 8 个真空计的读数。标准功能包括 8 个设定点和 8 个触点继电器。所有设置都存储在闪存中,因此无需在断电后花时间进行重新设置。
XGS-600 真空计控制器可以操作对流真空计 (CONV)、热灯丝真空计 (HFIG)、冷阴极真空计/反磁控真空计 (IMG) 和所有安捷伦主动式真空计 (AN)。XGS-600 控制器内多可安装 6 个真空计控制电路板,这些电路板可以采用任意组合,以满足您的应用要求。

特点
简洁的用户界面
直观的屏显功能
容量、灵活性、可扩展性
采用标准半机架的紧凑设计
一次允许操作 1–12 个真空计,同时显示多达 8 个真空计的读数
实验室应用、加速器、同步加速器、OEM 设备及其他大型设备的理想选择
能够在现场进行扩展和重新配置
可对每个真空计进行模拟量输出
提供串行接口,所有数据保存在无需使用电池的非易失性存储器中

AGC-100/AGD-100 控制器
AGC-100 是与 FRG-7xx、PVG-5xx、PCG-75x 和 CDG-500 系列主动式真空计兼容的单通道控制器,可以自动识别所连接的主动式真空计。该真空计控制器具有 USB 和以太网端口。AGD-100 是用于 FRG-700/702、PVG-5xx 和 PCG-75x 系列主动式真空计的单通道显示选件。
两种型号都具有用户可选的测量单位(mbar、Torr 和 Pa)以及可调节的设定点控制。两种型号都可以显示几乎所有同类产品的皮拉尼和冷阴极真空计的读数。

特点
自动识别安捷伦主动式真空计,简化设置
与用户所选的压力单位(mbar、Torr 和 Pa)通用兼容
利用压力读数进行重要操作
AGC-100 具有 USB 和以太网接口选件
与几乎所有同类产品的皮拉尼、冷阴极、热阴极和电容薄膜真空计兼容

技术参数

XGS-600真空计控制器性能指标


10 ms
安装尺寸
2U 1/2 Rack
温度
-5 to +40 °C
和认
EN 61010,EN 61326-3-2 2006,EN6100-3-2 2005,EN61326:1997/A1:1998/A2:符合 2001/A3:2003、EN55011、FCC Part 15 subpart J、CSA1010、RoHS 标准,WEEE
模拟输出
0-10 VDC
设定
Eight channels
环境温度
-15 至 +70 °C
输入
100-240 Vac
通讯接口
RS232                    RS 485

AGC-100/AGD-100控制器性能指标

操作环境温度
+5 to +50 °C
测量范围
1.3 x 10-3 至 1067 mbar,1 x 10-3 至 800 Torr
码头环境
-20 至 +60 °C
输入电压
100-240 Vac

应用领域

  • 集成电路
  • 芯片
  • 晶圆片

相关产品