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氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪

产品简介

鉴于泄漏无法避免的现实,工程师需要面对的关键问题通常就变成:“多大的泄漏必须干预?”为了解决这个问题,安捷伦开发了全新氦质谱检漏仪 (HLD),汇聚了众多安捷伦关键创新,包括全新的用户界面,优化的使用性能及维护成本。

产品概述

鉴于泄漏无法避免的现实,工程师需要面对的关键问题通常就变成:“多大的泄漏必须干预?”为了解决这个问题,安捷伦开发了全新氦质谱检漏仪 (HLD),汇聚了众多安捷伦关键创新,包括全新的用户界面,优化的使用性能及维护成本。
安捷伦氦质谱检漏仪
鉴于泄漏无法避免的现实,工程师需要面对的关键问题通常就变成:“多大的泄漏必须干预?”
为了解决这个问题,安捷伦开发了全新氦质谱检漏仪 (HLD),汇聚了众多安捷伦关键创新,包括全新的用户界面,优化的使用性能及维护成本。

参数设置从未如此简单
安捷伦 HLD 氦质谱检漏仪专为简便易用和优化性能而设计,无需猜测,避免浪费时间或造成严重错误。对于大多数常见应用(吸枪、氦气喷枪、高灵敏度和自动排序器等),用户可以访问适合的应用界面并按照向导正确设置参数。直观的触摸屏界面为操作人员、工艺工程师和维护技术人员提供 8 种语言并且有不同的安全级别可供选择。

值得信赖的安捷伦可靠性
HLD氦质谱检漏仪中的全部组件均由安捷伦制造并提供支持。该解决方案拥有一年的标准质保期(提供两年和三年质保的可选配置),并享有全球服务、全球备件网络以及各种订制化服务合同的支持。凭借卓越的使用维护成本、实际应用性能和易用性等优势,安捷伦 HLD 氦质谱检漏仪树立了可靠检漏的新标准。

安捷伦 HLD:创新与信心
氦质谱检漏是对泄漏定位或准确定量检测的一种快速、灵敏和可靠的方法,可以快速解决影响各种部件和系统质量或使用寿命的泄漏问题。安捷伦 HLD 的创新技术旨在大程度提高易用性、性能和可靠性,使您高枕无忧,代表了我们持久专注检测技术的新成果。

安捷伦 HLD 具有佳性能和效率
-六种不同的应用设置向导可帮助用户将仪器正确配置到佳性能:
氦气喷枪                   高灵敏度
吸枪                        PPM 吸枪
自动排序器                 分流
-安捷伦质量/可靠性,享有一年的质保期
-无线手持式遥控可以实现单人在远 100 米的位置对大型系统进行检漏
-八种语言增强了全球范围的可用性
-更大的工作台面积为测试部件和工具等提供了充足的空间
-开机向导能够帮助用户在接通电源后对仪器进行设置
-改进的关机程序能够使检漏仪处于真空环境并保护真空泵
-易于操作,简化维修
-氮气破空口是标准配置
-模拟量、RS232 和独立的 IO 接口等不同配置帮助您与其它设备轻松互联

安捷伦 HLD 型号命名指南
示例:MR30 是移动式旋片泵配置,抽速 30 m3/h

技术参数

安捷伦氦质谱检漏仪规格

旋片泵检漏仪



订购
泵类型与额定抽速
常见应用
何时选择该配置:
便携式PR02G8610A旋片2 m3/h
– 产品研发
– 小型系统
需要紧凑型一体式解决方案和/或有辅助泵
的系统时
台式

BR15

BR30

G8612A

G8612D

旋片15 或 30 m3/h
– 制冷系统和组件
– 汽车部件
需要快速的检测密封组件时
移动式

MR15

MR30 

G8611A

G8611D

– 真空炉
– 工业镀膜机
– 压力容器
– 发电厂
需要检测大型系统、需要更高的泵性能或需要移动式仪器时

干泵检漏仪



订购
泵类型与额定抽速
常见应用
何时选择该配置:
便携式
PD03G8610B涡旋式干泵 + 隔膜泵3 m3/h
– 大学和科学研究
– 小型系统
需要洁净、干燥、紧凑的一体式解决方
案和/或辅助泵的系统时
台式

BD15

BD30

G8612C

G8612B

涡旋式干泵 + 隔膜泵15 或 30 m3/h
– 医疗器械
– 电子元件
需要无油快速的检测密封组件时
移动式

MD15

MD30

G8611C

G8611B 

– 大型科学研究室
– 生物工艺系统
– 半导体工厂
需要检测大型系统、需要更高的泵性能或需要移动式仪器时

常用配置的规格

环境氦气浓度 1000 ppm 时的小可检漏率
5 × 10-12 atm cc/s:5 × 10-12 mbar L/s:5 × 10-13 Pa m3/s 氦气
大测试接口压力
13 mbar,10 Torr,1330 Pa
测试接口处的氦气抽速(精细测试)
1.8 L/s
校准程序 
自动或手动(内部或外部)
本底抑制
按键式自动归零,零点自动跟踪
用户界面
8.4 英寸 (213 mm) 高清晰度彩色显示屏,TFT 触摸屏
可选择的语言 
中文、英语、法语、德语、日语、韩语、俄语和西班牙语
自动检测循环(自动排序器)
可编辑的预抽时间、测试时间、不合格设定点和压力设置
响应时间
< 0.5 s
设定点
标准设置,5 个设定点,N/O 或 N/C;3 个漏率设置,1 个压力设置,
1 个音频设置
通讯接口
RS232 和模拟量(标准),独立 IO 接口(可选)
认证标准 
UL/CSA,CE
尺寸(长 × 宽 × 高) 
便携式或台式:625 mm × 403 mm × 517 mm 
推车式:764 mm × 508 mm × 1153 mm

应用领域

  • 集成电路
  • 芯片
  • 晶圆片

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